AMHS天车系统-无锡芯运智能科技有限公司

AMHS产品组合
AMHS product portfolio
AMHS（Automatic Material Handling System）自动物料搬运系统，又名天车系统，是半导体生产线上进行物料搬运的软硬件一体的设备和系统。AMHS产品组件包含传送硬件设备（OHT、Lifter等）、存储硬件设备（Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB、OHCV、OHB）、净化硬件设备（TLP、OPS、FPS等）和一体化软件系统。
OHT小车性能参数
OHT car
搬运载具类型: FOUP，FOSB
VHL尺寸: L860xW460xH960mm
抓取质量: 15Kg
直线速度: 3.5m/s
曲线速度: 0.9m/s
加速/减速:1.5m/s2/2m/s2
加载时间: EQ(1.8m): 16sec
吊装长度: 3.5m ( Foup )
轨道分歧/汇合方式: VHL自动切换
转向器工作时间: 0.5s
曲线半径:500mm
洁净度: CLASS100(F.S 209D)
振动<0.5G
供电方式:非接触供电系统 ( CPS )
AMHS软件系统
Crane software system
天车管理系统由MCS/OHTC系统等组成，实现生产物料快速、准确对接到目标生产设备和制程工艺设备，组成并实现一个智能化、高效率的半导体工厂，同时也确保了生产系统的信息安全。
AMHS天车的视频
Video of the AMHS crane

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