产品组合
Equipment Control System我们的设备产线包括包括Sorter、EFEM以及相关核心部件产品(SMIFPOD、Load port、翻转机构、Aligner等),Sorter & EFEM可根据客户需求配置EAP及E84模块,实现晶圆搬运的完全自动化。
我们的设备产线包括包括Sorter、EFEM以及相关核心部件产品(SMIFPOD、Load port、翻转机构、Aligner等),Sorter & EFEM可根据客户需求配置EAP及E84模块,实现晶圆搬运的完全自动化。
软件功能丰富,可实现客户的需求多样化
SECS/GEM 传输指令,兼容多种通讯协议
人性化的操作维护界面,清晰明了
系统设计模块块,实现组件化,稳定性高
丰富的用户权限管理、全过程日志记录
全面的安全防呆机制,保障机台安全稳定运行
EFEM参数:
1/2/3/4个LoadPort or SmifPod
适用150mm-300mm晶圆
Wafer厚度300~1000um,Warpage≤1mm
SCR双臂机器人
超薄真空手臂or伯努利手臂or边缘夹持手臂
真空or边缘夹持Aligner
OCR(IOSS),高清读取WaferID
配置E84模块,支持天车取放料
RFID读取
EFU & Ionizer
EAP对接,实现数据上传
参数:
2/3/4个LoadPort设计
兼容200mm-300mm晶圆
Wafer厚度300~1000um,Warpage≤1mm
自动识别FOUP or Cassette
GTCR机器人
WPH可达到230片
陶瓷超薄真空或伯努利抓手(可定制)
真空Aligner
OCR(IOSS),高清读取WaferID
配置E84模块,支持天车取放料
RFID读取
EFU & Ionizer
晶圆任意拆分
支持SECS/GEM厂务通讯