晶圆自动化搬运设备-无锡芯运智能科技有限公司

产品组合
Equipment Control System
我们的设备产线包括包括Sorter、EFEM以及相关核心部件产品（SMIFPOD、Load port、翻转机构、Aligner等），Sorter & EFEM可根据客户需求配置EAP及E84模块，实现晶圆搬运的完全自动化。
设备软件系统
Equipment software system
软件功能丰富，可实现客户的需求多样化
SECS/GEM 传输指令，兼容多种通讯协议
人性化的操作维护界面，清晰明了
系统设计模块块，实现组件化，稳定性高
丰富的用户权限管理、全过程日志记录
全面的安全防呆机制，保障机台安全稳定运行
EFEM+参数
EFEM + parameters
EFEM参数：
1/2/3/4个LoadPort or SmifPod
适用150mm-300mm晶圆
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
SCR双臂机器人
超薄真空手臂or伯努利手臂or边缘夹持手臂
真空or边缘夹持Aligner
OCR（IOSS），高清读取WaferID
配置E84模块，支持天车取放料
RFID读取
EFU & Ionizer
EAP对接，实现数据上传
Sorter+参数
Sorter + parameters
参数：
2/3/4个LoadPort设计
兼容200mm-300mm晶圆
Wafer厚度300~1000um，Warpage≤1mm
自动识别FOUP or Cassette
GTCR机器人
WPH可达到230片
陶瓷超薄真空或伯努利抓手（可定制）
真空Aligner
OCR（IOSS），高清读取WaferID
配置E84模块，支持天车取放料
RFID读取
EFU & Ionizer
晶圆任意拆分
支持SECS/GEM厂务通讯

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