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仅用4个月,国内首台套设备在惠山经开区正式下线!

公司新闻 2022-09-29 来源:本站 0
     9月18日,位于惠山经开区的芯运智能科技有限公司自主研发设计制造的首台套设备正式下线,这套应用于半导体工厂的EFEM晶圆自动化搬运设备,为逐步打破国外垄断,加快国产化替代,实现中国芯片产业自主可控发展助力。同时也标志着惠山经开区智造装备产业集群正在向半导体、人工智能、新材料、新能源设备等前瞻性领域布局,培育更多“专精特新”企业,努力擦亮惠开“高端智造”品牌。
 
芯运智能科技
 
      这套正在运行中的半导体晶圆搬运设备,实际上就是通过软件管理的机器臂实现按指令运转,将晶圆在处理工序中实现自动的搬运和按指令要求完成系列动作。在这个过程中,晶圆储片盒中的晶圆被高速、精准、清洁地搬运和处理。这套看似几秒的简单搬运工序,事实上对设备的精细度、安全性、可靠性要求非常高。芯运智能凭借强大的技术能力储备,以及多年来积累的行业内解决方案经验,成功设计研发制造出这套拥有自主知识产权的设备。

芯运智能科技

     芯运智能科技有限公司技术总监 旷贤国

  这台设备是做晶圆自动化设备搬运的,大量的设备搬运工作替代人工的方式,它对高精度、高洁净度的要求,实际上是人不能完成的工作由设备来完成,通过自动化,未来可以实现无人工厂的方式。

     这套设备的安全可靠性需要达到98%以上,这是整套设备的难点,我们有很多年行业解决经验,我们有首台套设备的经验和行业解决方案的经验,所以才完成了首台套设备的下线。

     芯运智能是一家拥有领先核心技术、自主可控的半导体设备厂商,核心产品AMHS系统主要应用于晶圆制造、封装测试工厂,客户涵盖HTKJ、ZKZX、CDYX等知名企业。

     公司核心技术成员参与了国内首条自主知识产权的商用AMHS自动搬运物料系统的设计开发,实施运行,为打破国外垄断,实现真正自主可控的国产化替代作出了卓有成效的尝试。
     项目从今年4月正式与惠山经开区签约,到今天首台套设备正式下线,只用了4个多月时间就实现了当年签约、当年投产、当年销售“惠开速度”。在国产替代进口的大趋势下,随着对于国内半导体设备的需求增大,市场规模也急剧扩张,这也给芯运智能这样能解决卡脖子技术难题的企业,带来了发展壮大的最好时机。
 

芯运智能科技

  芯运智能科技有限公司董事长 廉明 

     我们创办公司的初衷是要志在打破国外垄断的地位,当然我们是拥有自主知识产权的技术。

     我们的产品主要是两个产品方向:一是机台设备,完成企业的造血能力,未来我们会大力发展天车系统,目前国内几乎没有公司在做天车系统。计划明年天车系统试验线出来,后年形成天车系统的销售,我们有一个5年计划,到2027年之前进入上市辅导。

     抢占高端装备制造的“制高点”,惠山经开区智造装备产业集群积极布局半导体、人工智能、新材料、新能源设备等前瞻性产业,培育专精特新和行业小巨人,在数字化转型中抢占“智高点”。
 

芯运智能科技