1、项目基本情况

（1）项目名称：半导体自动物料搬运系统项目

（2）项目建设单位：沈阳新松机器人自动化股份有限公司

（3）建设地点：辽宁省沈阳市

（4）项目性质：新建

（5）主要产品：自动物料搬运系统、洁净存储系统、洁净搬运机器人。项目建成后，达产年预计可实现年均营业收入约 119,000.00 万元。

（6）项目总投资：65,572.09 万元

（7）项目建设周期：2.5 年

（8）主要建设内容：AMHS 装备制造中心、研发设计大厦、厂区建设工程，厂区建设工程包括厂房改造、生产及辅助生产设施、动力设施、环保设施、安全设施、消防设施、管理设施等。

2、项目经济效益分析

经过可行性论证及项目收益测算，本项目具有良好的经济效益。项目实施后，能够为公司带来稳定的现金流入。

3、项目的必要性和可行性

（1）项目的必要性

AMHS系统国产化是半导体行业发展必然趋势

在半导体加工厂中，AMHS 系统（自动化物料搬送系统）非常关键，是提高半导体制造产率、成品率以及设备利用率的保证。尤其是对于实现了生产设备与设备之间自动搬送的全自动化半导体工厂，一个高效的 AMHS 系统可以大幅缩短在制品的等待时间，从而缩短晶圆产品的生产周期。

在半导体芯片加工厂中已经大量使用 AMHS 系统，AMHS 系统显著提升了芯片加工厂的生产效率，并且使晶圆制造过程中的数据得以实时获取，提升了整个制造过程的管控能力，随着先进封装产业的发展进步，AMHS 系统会进一步扩展到后道，成为整个半导

体产业的核心自动化传输系统，作为半导体芯片加工厂与先进封装厂的大动脉，AMHS 系统将有更加广阔的应用空间，AMHS 系统是现代化半导体工厂自动化系统中最大的单项投资项目，目前市场主要被日本大福、日本村田机械和美国AMAT 等国外公司垄断。国内半导体制造厂商进口一条 AMHS 系统价格极其昂贵，售后维护和服务费用高昂，给国内半导体制造厂商增加了巨大的经济成本，实现 AMHS 系统的国产化和自主可控是国内半导体产业发展的必然趋势。

AMHS 系统是半导体装备新的业务增长点

公司自 2018 年 6 月成立半导体装备事业部以来进一步加强公司在半导体AMHS 领域的技术和服务能力，完善在 AMHS 系统产业的布局。自动物料搬运系统（AMHS）是公司自主研发的面向半导体行业的高端装备，从 2004 年开始布局研发，在 2010 年开始初步产业化，验证了自主研发的可行性，在技术方面也得到了深厚沉淀。经过十几年的发展，公司的自动物料搬运系统（AMHS）已经形成了体系完整、系列丰富、应用广泛的独立产品线。